1000度高溫多晶矽微波幹燥設備
多晶矽微波幹燥設備,廣泛適用半導體多晶矽幹燥。
多晶矽,是單質矽的一種形態。熔融的單質矽在過冷條件下凝固時,矽原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核,如這些晶核長成晶麵取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶矽。利用價值:從目前國際太陽電池的發展過程可以看出其發展趨勢為單晶矽、多晶矽、帶狀矽、薄膜材料(包括微晶矽基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)
1、油脂:在多晶矽生產過程中,油分子對多晶矽的危害十分嚴重。實際證明,整個工藝係統幾ppm的油含量就可能造成多晶矽反應速度減慢,產量降低,甚至矽反應停止。因此,多晶矽設備的脫脂工藝尤為重要。
2、水分:水中含有大量的氯離子,氯離子對多晶矽的反應十分敏感。設備及係統幹燥工藝很關鍵。
3、氯離子殘留:水和其他溶液在設備表麵殘留的氯離子對多晶矽影響十分大。因此,在清洗後對設備進行純水衝洗工藝十分重要。
4、氧化物、灰塵其他雜質:其他汙垢的存在,對多晶矽的生產影響也很大。因此,在設備清洗過程中,采用酸洗工藝對其他汙垢進行清洗十分必要。
多晶矽加工生產中,關見的是用純水清洗,幹燥。恰恰微波設備能滿足要求,加熱速度快,脫水快。可以提高效率,是電加熱幹燥的幾十倍,沒有二次汙染,可以保證多晶矽的純度,有利於後續加工質量保證。微波幹燥設備為了滿足多晶矽高溫幹燥,輸送帶選用了耐1000度高溫的材料,保證了幹燥順利完成。
微波幹燥設備整體外形結構緊湊、美觀、流暢,占地麵積小。針對該物料的物理特性,設計合理的箱體尺寸,使加熱器內微波功率密度均勻,微波自上而下寬帶饋入,使物料加熱更加均勻。采用全新的微波烘幹技術與設備。能夠實現物料的無汙染和均勻幹燥,同時可大幅降低幹燥溫度,此外幹燥速度通常提高數倍以上,生產效率大幅提高,幹燥能耗通常降低50%以上,終實現安全潔淨高效生產。
微波幹燥特點和機理不同於一般的幹燥技術,概括起來有以下特點:
1) 微波幹燥過程中的幹燥層首先在物料內部形成, 然後由裏層向外擴展。原因是物料在微波條件下內外同時受熱,內部溫度高於外部,水蒸氣由內向表層排出,物料內部先形成幹燥層;常規加熱容易在物料外部先形成一層幹燥硬殼, 這不僅會影響物料的品質和外觀,還會降低幹燥速度。而微波幹燥從根本上避免了以上情況的發生。
2) 微波幹燥節能。用遠紅外線和蒸汽能源進行幹燥,其能源利用率不足50%,而用微波作為能源的利用率可達75%以上,比遠紅外和蒸氣幹燥能耗降低25%以上。
采用;獨有的微波源及其控製技術,確保微波源係統在各種複雜環境下長期連續穩定工作,其中磁控管的正常使用壽命≥1年;
采用按標準特製的高效微波傳輸係統,對物料進行均勻饋能,確保物料幹燥均勻,有效避免物料局部溫度過高的現象;
采用獨創的數理模型,結合幹燥工藝要求進行科學的腔體設計,確保脫水效率,同時避
免腔體內“熱點”、“打火”、“濺料”、“燒帶”等不良現象的發生;
主要性能及技術參數
根據客戶需要量身訂製;
控製傳輸帶工作溫度≤200oC;
微波頻率:2.45GHz±25MHz;
觸摸屏顯示、控製,具自動、手動雙重操作功能;
采用紅外濕度測量儀,對加熱箱內部溫、濕度進行測定,並實現全程控製;
微波泄漏量:<2mw/cm2。
1、 輸入電源:三相五線380V±10% 50Hz±1%
2、微波輸出功率:48kW(可調)
3、微波頻率:2450MHz±50Hz
4、額定輸入視在功率:≤69kVA
5、進出料口高度:50mm
6、傳輸帶寬度:500mm
7、傳輸速度:0.1~5m/min
8、外形尺寸(長×寬×高):約12700×665×1668mm
9、工作環境:0~40℃、相對濕度≤80%
10、微波箱體數量:8個箱體
11、符合GB 10436-1989作業場所微波輻射衛生標準
13、符合GB/5226.1-2002機械安全 機械電氣設備
|
微波功率 KW |
脫水能力 KG/H |
視在功率 KVA |
傳送帶寬度MM |
微波加熱箱體數量 |
外型尺寸 MM |
|
SDG-12 |
12 |
6-12 |
17 |
500 |
3 |
7200×665×1668 |
2、 |
SDG-20 |
20 |
10-20 |
28 |
500 |
4 |
8300×665×1668 |
3、 |
SDG-30 |
30 |
15-30 |
43 |
500 |
6 |
10500×665×1668 |
4、 |
SDG-40 |
40 |
20-40 |
57 |
500 |
8 |
12700×665×1668 |
5、 |
SDG-50 |
50 |
25-50 |
72 |
1000 |
5 |
9400×1700×1668 |
6、 |
SDG-60 |
60 |
30-60 |
86 |
1000 |
6 |
10500×1700×1668 |
7、 |
SDG-70 |
70 |
35-70 |
110 |
1000 |
7 |
11600×1700×1668 |
8、 |
SDG-80 |
80 |
40-80 |
115 |
1000 |
8 |
12700×1700×1668 |
9、 |
SDG-100 |
100 |
50-100 |
144 |
1000 |
10 |
14900×1700×1668 |
10、 |
SDG-150 |
150 |
75-150 |
217 |
1500 |
10 |
14900×1240×1668 |
11、 |
折疊主要應用領域
高水份粘稠性物料的幹燥;
粉狀、顆粒狀、片狀、條狀、板狀、小型坯件等物料的幹燥;
催化劑的活化再生;
汙泥等固體廢棄物的幹燥、殺菌、消毒;
食品、藥品、原料的幹燥、殺菌、消毒;
大米、麵粉的幹燥、殺蟲、防黴處理;
茶葉的殺青、提香;
高分子材料的固化;